Equipments

Equipment of the technological platform

Zone technique 02

Une centrale de traitement d’air permet d’assurer un contrôle de la contamination particulaire, de la température et de l’hygrométrie en salle blanche

Zone technique 01

Une centrale de traitement d’air indépendante qui permet d’assurer un contrôle de la contamination particulaire, de la température et de l’hygrométrie en salle grise

Salle Blanche (ISO7 et ISO6)

Zone litho 2

  • Mask aligner MJB4
  • Mask aligner UV Kub 3
  • Litho laser Dilase 650
  • 2 lab-spin 6

Zone dépôt

  • Evaporateur Auto 500
  • Sputtering/PECVD
  • Métalliseur Cress. 108A
  • Plasma Diener Pico O²

Zone caractérisation

  • Profilomètre à stylet
  • Profilomètre optique NT9100
  • MEB TM3030
  • Ellipsomètre Uvisel

Zone Chimie

  • 1 sorbonne cleaning
  • 1 sorbonne etching

Salle Grise (ISO 8 et ISO 7)

Zone matériaux

  • Presse chauff. hydrau. SCAMEX 3T
  • Presse chauff. Hydrau. manuelle Specac
  • Lamineuse RLM 419
  • Four à verre (1300°C)
  • 4 hottes flux laminaires

Zone microfabrication

  • Plasma cleaner FEMTO
  • UVO-cleaner Jelight
  • Imprimante à masques souples Filmstar+
  • 3 postes PDMS
  • 3 postes NOA
  • Imprimante 3D Form 2

Zone caractérisation

  • Rhéomètre MCR 302
  • Microscope FT-IR
  • Profilomètre optique

Zone litho 1

  • UV KUB2
  • Lamineuse Linea 360
  • Lab spin 6
  • UV LC8 Lightningcure

Salle de microscopie

  • 1 confocal TCS SP8 CSU mini incubateur
  • 2 Videomicroscopes DMi8 sous incubateur
  • 1 Spinning CSU-X1- sous incubateur
  • 1 incubateur CO2
  • 2 contrôleurs de pression

Fablab

  • Micro-fraiseuse Minitech
  • Graveuse laser + sableuse
  • Station de travail
  • Cutting plotter

Culture cellulaire L2

  • PSM
  • Microscope Fluo
  • Centrifugeuse
  • 2 Incubateurs CO2
  • 3 congélateurs (-20°C, -86°C, -150°C)

Chambre froide

  • Machine à glace
  • 1 congélateur -20°C
  • Chambre froide
  • Incubateur sans CO2
  • 2 Infors
  • 1 Centrifugeuse MultifugeX1R

Biofab

  • Technologie de photopatterning Primo sur statif Nikon
  • 1 Leica DMI à éclairage cool LED couplé contrôleur de pression et vannes externes

Salle de TP

  • 6 Leica DMI
  • 6 contrôleurs de pression
  • 3 stations de travail Metamorph et confocal

Le lavoir

  • Autoclave
  • 2 lave-vaisselles

Autres équipements

  • Plasma Patm
  • Cytomètre de flux
  • Zeta Sizer
  • Bioanalyzer
  • GC-MS & Micro GC
  • Mesure d’angle de contact
* Les équipements décrits en rouge ne sont pas accessibles aux extérieurs.